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ZYGO PTI250/PTI 250P激光干涉儀

  • 更新時間:2020-12-16
  • 瀏覽次數:3390

ZYGO PTI250/PTI 250P激光干涉儀
PTI 250 是一套穩定且易于使用的干涉儀,可以提供透鏡和透鏡系統的3維表面形態面和波陣圖及透鏡曲率半徑與檢測。根據不同的應用需求PTI 250系列分為:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250VPTI 250FTM。

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應用領域電子,交通,冶金,航天,汽車

ZYGO PTI250/PTI 250P激光干涉儀

PTI 250 是一套穩定且易于使用的干涉儀,可以提供透鏡和透鏡系統的3維表面形態面和波陣圖及透鏡曲率半徑與檢測。根據不同的應用需求PTI 250系列分為:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250VPTI 250FTM。這是一套小型干涉儀系統,其與ZYGO公司所制造的干涉儀(也是世界標準)一致。PTI 250 是純正的ZYGO干涉儀,同時還提供易于使用和可靠的測量方法且有很好的投資報酬率,極適合高產量生產控制,同時也可作為科研人員研發使用。

 

在使用時有如下特性

      •   25mm孔徑干涉儀附帶涵蓋許多應用范圍的系列光學配件
      •   操作方便且快速的干涉條紋對準系統手動孔徑調焦降低邊緣衍射并加強性能
      •   Z軸手動粗調300mm與微調30mm直接與世界標準的ZYGO GPI 及VeriFire 干涉儀進行校準
      •   配有高精度、高可靠度且易于使用的溫控半導體激光器
      •   可選用垂直、水平或向上方式的測試座提供未來產品升級需要與附件使用
      •   根據不同的應用需求PTI 250系列分為:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250V

 

美國ZYGO PTI 250激光干涉儀

圖示:美國ZYGO PTI 250激光干涉儀

選型規格

PTI 250RS

      •   具備研究用干涉儀所需要的高功能性及靈活性。 
      •   在2秒內,可產生多于300,000個像素的定量三維圖。 
      •   位相測量干涉儀,精度大于λ/100。 
      •   采用FlashPhase數據采集方法,在不穩定及有振動的環境下仍能測量
      •   采用標準的Zygo MetroPro界面――干涉檢測的標準。 
      •   可測曲率半徑 (選用)。

PTI 250F

      •   經濟實用的生產用位相調制干涉儀。 
      •   采用FlashPhase數據采集方法可在干擾較大的生產環境下進行可靠測量。 
      •   可產生多于300,000 個像素的定量表面形態圖。 
      •   采用FlashPhase作位相測量。 
      •   采用標準的Zygo MetroPro 軟件,多語言支持的操作界面。 
      •   可測曲率半徑 (選用)。

PTI 250P

      •   生產用位相調制干涉儀。 
      •   可產生多于300,000個像素的定量表面形態圖。 
      •   位相測量干涉儀,精度大于λ/100。 
      •   采用MetroPro軟件,多語言支持的操作界面。 
      •   可測曲率半徑 (選用)。

PTI 250V

      •   生產用快速檢測干涉儀。 
      •   目測條紋方式,檢測產品。 
      •   可測曲率半徑 (選用)。 
      •   可升級到PTI 250F 和PTI 250P 。

主要技術參數

儀器類型 具有相位測量功能的小型Fizeau 型生產用干涉儀。
數據采集 FlashPhaseeTM
應用范圍小球面和平面檢測。表面狀態的定量測量,傳輸波陣面測量及半徑測量。測量方向 垂直向下測量。
測試光源 Class I級 655 nm 半導體激光
測試光直徑 25 mm
CCD采集 640 x 480 
像素調焦范圍 ±250 mm 手動可調
調準方式 配合集成型LCD雙光點對準
觀察方式 計算機實時圖像顯示
計算機 高性能個人電腦,硬盤、 CD-ROM 和17"顯示器
軟件Microsoft Windows XP專業版下的ZYGOPTI 250 軟件
電源 100 - 240 VAC, 50/60 Hz
尺寸與重量尺寸(高x 寬x長) 686 x 203 x 356 (mm)
重量 33 kg
性能參數測量不確定度1 

平面測試: λ/20

球面測試: λ/10RMS 

重復性2λ/2000 (1σ)RMS 
精度3 λ/500 (1σ)
環境要求溫度 15°C - 35°C (60°F - 95°F)
溫差變化 <1.0°C / 15 min
濕度相對濕度10% - 95% , 無凝結
防震 無需特別防震
語言 英語,德語,日語,簡體中文,繁體中文

 

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